반도체 산업을 위한 플로팅 웨이퍼 이송





 6 자유도와 고정밀성을 갖춘 XPlanar는 경로에 최대의 유연성을 제공하여

서로 다른 처리 스테이션 간에 웨이퍼를 이송할 수 있습니다.

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